个人简介
男,1961年出生,1982年毕业于浙江大学光仪系,留校任教,1988年获硕士学位,1992~1995年在德国亚琛工业大学电子工程学系做联合培养博士,1998年获博士学位。1996年,任浙江大学近代光仪研究室主任,晋升副教授,1999年起任浙江大学光电系副主任,2000晋升教授。从事与集成电路制造和加工有关的光学设备和光学成像系统以及微光学方面的研究。作为项目负责人承担过国家自然科学基金、国防预研基金、博士点基金和教育部骨干教师基金。同时作为技术负责人参加了863高技术项目和国家自然科学基金重点项目。先后在国内外各类期刊上发表论文20余篇。目前为仪器仪表学会机械量测试分会理事,《红外与激光工程》杂志编委。
工作研究领域

与集成电路制造和加工有关的光学设备和光学成像系统以及微光学方面的研究。

联系方式

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