光滑元件表面疵病评价技术


方向简介:

     光学元件的表面疵病,与表面面形、粗糙度等都是描述光学元件表面质量的重要指标,对高性能光学系统至关重要。由于之前加工水平等因素的限制,在国际上一直未受到大部分光学加工单位或工厂的足够重视。但近几年来随着加工水平的提高,以及国际上不断高涨的对高性能光学系统的需求,光学元件的表面疵病逐渐成为光学行业一个广受关注的对象。本课题组关于光学元件表面疵病的研究始于2003年,利用显微暗场散射成像技术配合子孔径扫描拼接,实现了大口径光学元件表面疵病的自动评价,充分发挥了机器视觉的优势,去除了人眼检验的主观因素。目前除对上述工作继续深入研究外,也在向亚表面、深度方向发展。

发展历程:

仪器系统特色及应用范围: 
  • 剔除了人眼目视检测的主观性,适合车间、现场进行各类精密光学元件、硅片、金属表面等表面疵病的分析测量;
  • 精密光学加工企业光学元件表面疵病、光洁度等的质量控制;
  • 精密光学加工企业光学元件镀膜前、后以及出厂前的之类控制;
  • 手机显示屏、触摸屏、智能终端显示屏等表面划伤的检测,以及触摸屏等清洗后水渍、污渍等检测;
 
仪器系统图片: 
 
仪器系统参数: