超高精度大数值孔径球面面形检测


方向简介:

    以美国ZYGO干涉仪为代表的商用干涉仪已实现了平面、球面光学元件面形的高精度、数字化检测,检测精度可达1/20波长。然而,随着对光学系统性能要求的不断提高,对光学元件的面形检测精度也提出了更高的要求,如1/50波长,甚至是1/100波长。这种情况下,如ZYGO公司的Fizeau型干涉仪等仪器将由于受到参考面本身加工精度的限制,无法满足要求。而点衍射干涉仪,由于可以通过控制小孔的参数从而控制衍射球面波的质量,理论上来说可以产生极高质量的参考波前。课题组研究了点衍射小孔的参数(直径、厚度、材料、工艺)对衍射波前质量的影响,设计并制作了衍射波前精度可达0.0001波长的一系列不同参数的小孔,完成了可用于超高精度、大数值孔径球面面形检测的点衍射干涉系统原理性实验。理论与实验均表明,所搭建的针孔点衍射干涉仪可以实现大数值孔径球面面形的超高精度检测。

 发展历程:

 

仪器系统研究特色: